1)温度稳定性好

电容式传感器的电容值一般与电极材料无关，这有利于挑选温度系数低的材料，又因自身发热极小，影响稳定性甚微。而电阻传感器有铜损，易发热产生零漂。

2)结构简略

电容式传感器结构简略，易于制造和确保高的精度，能够做得十分小巧，以完成某些特别的丈量；能作业在高温，强辐射及强磁场等恶劣的环境中，能够接受很大的温度变化，接受高压力，高冲击，过载等；能丈量超高温和低压差，也能对带磁作业进行丈量。

3)动态呼应好

电容式传感器因为带电极板间的静电引力很小(约几个10^(-5)N)，需求的作用能量极小，又因为它的可动部分能够做得很小很薄，即质量很轻，因此其固有频率很高，动态呼应时间短，能在几兆赫兹的频率下作业，特别适用于动态丈量。又因为其介质损耗小能够用较高频率供电，因此体系作业频率高。它可用于丈量高速变化的参数。

4)能够非触摸丈量且灵敏度高

可非触摸丈量回转轴的振荡或偏心率、小型滚珠轴承的径向间隙等。当采用非触摸丈量时，电容式传感器具有平均效应，能够减小工件表面粗糙度等对丈量的影响。