1)温度稳定性好
电容式传感器的电容值一般与电极资料无关,这有利于选择温度系数低的资料,又因自身发热极小,影响稳定性甚微。而电阻传感器有铜损,易发热发生零漂。
2)结构简略
电容式传感器结构简略,易于制作和确保高的精度,能够做得十分细巧,以完成某些特别的丈量;能作业在高温,强辐射及强磁场等恶劣的环境中,能够承受很大的温度改变,承受高压力,高冲击,过载等;能丈量超高温和低压差,也能对带磁作业进行丈量。
3)动态呼应好
电容式传感器由于带电极板间的静电引力很小(约几个10^(-5)N),需要的效果能量极小,又由于它的可动部分能够做得很小很薄,即质量很轻,因而其固有频率很高,动态呼应时间短,能在几兆赫兹的频率下作业,特别适用于动态丈量。又由于其介质损耗小能够用较高频率供电,因而体系作业频率高。它可用于丈量高速改变的参数。
4)能够非触摸丈量且灵敏度高
可非触摸丈量回转轴的振荡或偏心率、小型滚珠轴承的径向间隙等。当采用非触摸丈量时,电容式传感器具有平均效应,能够减小工件外表粗糙度等对丈量的影响。