首要的偏移量差错:因为压力传感器在整个压力范围内垂直偏移坚持稳定,因此变换器分散和激光调理批改的改变将发生偏移量差错。
其次是灵敏度差错:发生差错大小与压力成正比。如果设备的灵敏度高于典型值,灵敏度差错将是压力的递增函数。如果灵敏度低于典型值,那么灵敏度差错将是压力的递减函数。该差错的发生原因在于分散过程的改变。
第三是线性差错:这是一个对压力传感器初始差错影响较小的因素,该差错的发生原因在于硅片的物理非线性,但对于带放大器的传感器,还应包括放大器的非线性。线性差错曲线可所以凹形曲线,也可所以凸形曲线称重传感器。
zui后是滞后差错:在大多数景象中,压力传感器的滞后差错完全能够忽略不计,因为硅片具有很高的机械刚度。一般只需在压力改变很大的景象中考虑滞后差错。
压力传感器的这个四个差错是无法避免的,咱们只能选择高精度的生产设备,使用高新技术来下降这些差错,还能够在出厂的时候进行一定的差错校准,尽zui大的可能来下降差错以满足客户的需要。