1、温度性能稳定

电容式传感器的电容值一般与电池材料无关，这有助于挑选温度指数低材料，又因自身发烫很小，影响稳定性甚微。而电阻感应器有铜损，易发烫产生零漂。

2、结构紧凑

电感式传感器结构紧凑，便于生产和确保强的精度，可以做得非常小巧，以实现某些特殊的测量;能工作在高温，强辐射及磁场等恶劣的环境中，能够承受很大的温度转变，承担高压力，高冲击，负载等;能测量超高温和低压差，也能对带磁工作开展测量。

3、动态回应好

电感式传感器因为带电极板间的静电引力很小(约几个10^(-5)N)，需要的功效动能很小，又因为它的移动部分可以做得很小很薄，即品质很轻，所以其原有频率很高，动态响应速度短，能在几兆赫兹的频率下工作，尤其适用于动态测量。又由于其介电损耗小可以用较高频供电，因此系统工作频率高。它可用以测量高速转变参数值。

4、能够非接触测量且灵敏度高

可非接触测量回转轴的振动或偏心率、小型滚动轴承的径向间隙等。当采用非接触测量时，电容式传感器具备均值效用，可以减小工件外表粗糙度对测量的影响。